Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5
Семинары
Лаборатория нейтронной физики им. И. М. Франка
Отделение ядерной физики
Руководитель – Валерий Швецов
Дата и время: пятница, 8 сентября 2023 г., в 11:00
Место: Конференц-зал ЛНФ (3-й этаж), Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка
Тема семинара: «Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5»
Авторы: Луис Мигель Ледо-Переда, Вячеслав Семенов, Виктор Рихвицкий, Алексей Лихачев, Рафаэл Исаев, Александр Дорошкевич
Докладчик: Луис Мигель Ледо-Переда
В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» (г. Зеленоград) и АО «Ангстрем» (г. Зеленоград) авторами доклада разработана система развертки в растр пучка протонов для облучения кремниевых пластин диаметром 150 мм. На основе электростатического ускорителя (ЭСУ) ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» (г. Зеленоград) разработана, изготовлена и отлажена автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники.
