В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» (г. Зеленоград) и АО «Ангстрем» (г. Зеленоград) авторами доклада разработана система развертки в растр пучка протонов для облучения кремниевых пластин диаметром 150 мм. На основе электростатического ускорителя (ЭСУ) ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» (г. Зеленоград) разработана, изготовлена и отлажена автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники.